日立掃描電鏡作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。它的制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應(yīng)等，對于導電材料，可直接放入樣品室進行分析，對于導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。
今天小編要與大家分享的是日立掃描電鏡的盲點知識：
1、掃描式顯微鏡有一重要特色是具有超大的景深，約為光學顯微鏡的300倍，使得掃描式顯微鏡比光學顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品。
2、其系統(tǒng)設(shè)計由上而下，由電子槍發(fā)射電子束，經(jīng)過一組磁透鏡聚焦聚焦后，用遮蔽孔徑選擇電子束的尺寸后，通過一組控制電子束的掃描線圈，再透過物鏡聚焦，打在樣品上，在樣品的上側(cè)裝有訊號接收器，用以擇取二次電子或背向散射電子成像。
3、電子槍的必要特性是亮度要高、電子能量散布要小，目前常用的種類計有三種，鎢燈絲、六硼化鑭燈絲、場發(fā)射，不同的燈絲在電子源大小、電流量、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。
4、熱游離方式電子槍有鎢燈絲及六硼化鑭燈絲兩種，它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子槍材料的功函數(shù)能障而逃離。對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù)，但因操作電子槍時均希望能以低的溫度來操作，以減少材料的揮發(fā)，所以在操作溫度不提高的狀況下，就需采用低功函數(shù)的材料來提高發(fā)射電流密度。
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